オークマは､高能率・高精度 5 面加工門形マシニングセンタ「MCR-BⅤ（エム・シー・アール・ビー・ファイブ）」を開発し、販売を開始した。門形マシニングセンタシリーズフラッグシップモデルMCR-Bシリーズの加工能力、精度安定性をさらに向上し、加工と計測の融合を実現可能とした。また、100 種類以上の主軸ヘッドが使用可能で、多様な複雑大物部品も一台で完遂できる。半導体製造装置、エネルギー関連、航空宇宙分野など幅広い産業機械における大物部品加工を最適化し、高い生産性を提供できる。

　安川電機は、新型パレタイジング用途ロボット「MOTOMAN-PL」シリーズのラインナップとして新たに4機種の販売を開始した。ロボットコントローラ「YRC1000」に対応し、省エネ性能、メンテナンス性を向上した。食品・薬品・化粧品製品などの箱積み、建材・石材など重量物の積載用途に最適。

　半導体製造工程に欠かせない石英製品およびシリコンパーツの技術や特徴、半導体製造装置での各種ニーズとそれらに対応する技術や取組み、今後の展開について、フェローテックホールディングス傘下のフェローテックマテリアルテクノロジーズ  に話を聞いた。