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パーク・システムズ・ジャパン、300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システムを開発

　パーク・システムズ・ジャパンは、300mm半導体ウェハー対応のナノスケール赤外分光システム「Park NX-IR R300」を開発した。

Park NX-IR R300

　同品は、化学特性情報だけでなく、半導体研究の機械特性や形状測定、故障解析、欠陥評価などをこれまでにない高ナノ分解能で提供する。

　主要機能は、①300mmまでの半導体ウェハーの化学・材料特性評価、②ナノスケールの赤外（IR）分光と原子間力顕微鏡（AFM）を一体化した装置、③10nmの空間分解能で化学物質を同定、④ノンコンタクト方式によるダメージのない分光スキャンが可能、⑤オングストローム以下の高さ精度の3Dトポグラフィーとナノメートルの横分解能での材料イメージング、など。

kat 2023年1月30日 (月曜日)

イグス、東京本社内にローコストオートメーションセンターを開設kat 2023年01日30日(月) in

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　イグスは、東京本社内に「ローコストオートメーションセンター」（LCAセンター）を開設した。低コストに自動化を進めていきたい企業向けに、ロボットが実際に動作する様子や、ロボット部品のサンプルを確認できる場を提供するもので、製品担当者がその場で詳細を説明し、質問に回答することも可能（見学は要予約）。
 

東京本社内に開設したLCAセンター

 

　ローコストオートメーションとは、シンプルで低コストのロボットや、ロボット部品によって工程全体または一部を自動化し、効果的に生産性を向上させることを表している。

　同社では「コストを抑えながら生産性を向上させたい」、「人手不足に対応したい」といった要望に応えるため、2022年にLCA 事業専任の担当者を配置。自動化を検討している企業の担当者に対し、実際の製品に触れられる機会を提供する目的で2022年末にLCAセンターを開設したもの。

　LCAセンターには、「デルタロボット」（パラレルリンクロボット）、「ガントリー」（直交ロボット）、「ロボリンク」（多関節ロボットアーム）、「ドライリン7th Axis」（ロボットの7軸目走行軸）の4種類の実機が展示され、実際の動作を確認できる。

　その他にも、ドライギアやリニアアクチュエータなどのサンプルも実際に手に取って確認できる。展示実機やサンプルは今後、随時追加していく予定。

　LCA センターに展示されている実機は以下のとおり。

・デルタロボット

製品番号：DLE-DR-0001-0004-00-0、繰り返し精度：±0.5mm、可搬重量：5kg、本体重量：7.2kg、作業範囲：360mm（高さ75/180mm）、搬送レート：60回/分（ワーク重量500g）、最大速度：3m/s

 

・ガントリー
 

製品番号：DLE-RG-0002-AC-500-500-100（サイズカスタム品）、繰り返し精度：±0.8mm、可搬重量：2.5kg、本体重量：6.5kg、作業スペース：500 x 500 x 100mm、最大速度：0.5m/s、最大加速度：2.0m/s²

・ロボリンク

 

製品番号：RL-DP-5-24-0004-00-0、繰り返し精度：±0.5mm、可搬重量：30N、本体重量：22.4kg、自由度：5DOF、最大速度：0.2m/s、リーチ：450mm

 

・ドライリン7th Axis

製品番号：ZLW-20200S-7TH-DCUR-01-1500、繰り返し精度：±0.3mm、ストローク：1500mm、最大アキシアル荷重：250N、最大ラジアル荷重：550N、最大速度：0.3m/s