NEOMAXエンジニアリング、高速応答と高推力を両立させたリニアモータ開発

　NEOMAXエンジニアリング（NXE）は、チップマウンタやワイヤボンディングなどの半導体部品実装機向けに高速応答と高推力を両立させたリニアモータ「Acc-max」を開発した。

　同社では、各種磁石応用製品で培った技術を活かし、高性能希土類磁石を使用したリニアモータを製造・販売している。高推力、高精度などの特性が高く評価され、半導体部品実装機や工作機械向けを中心に国内外で適用されているという。

　近年、半導体パッケージの高密度化がますます進む中、ワークヘッド（直線運動を行うモータ）の高速応答による生産性向上が課題になっている。このため、半導体組立工程のさらなる生産性向上に向け、早い応答速
度と高い推力を両立するリニアモータが求められており、今回はそうした需要に応える製品を開発した。

　同品は、可動子の軽量化と低インダクタンスコイルを採用することにより高速応答と高推力を両立さ
せた有鉄心方式のリニアモータ。可動子を磁石と強磁性体のみとしたことにより同社従来品に比べ約 40%の軽量化を実現した。また、低インダクタンスコイルを採用することにより、電流立ち上がり時間も従来比で 60%短縮した。これらによりコアレス方式と同等の応答速度である平均加速度 98m/s²(10G)を実現した。加えて、有鉄心方式であることを活かし、高推力（最大推力1000N）も両立させた。

　同品をワイヤボンディングなどの実装装置に採用することで半導体組立工程のさらなる生産性向上が期待されるという。