川崎重工、薄膜太陽電池製造ライン向けレーザパターニング装置を開発

　川崎重工業（ http://www.khi.co.jp ）は、主に薄膜太陽電池の製造に用いるレーザパターニング装置を開発した。

　薄膜太陽電池は、ガラス基板の表面に透明電極膜、半導体膜（発電層）、金属膜等が積層されており、それぞれの膜を積層する過程において、回路を形成するためのスクライブ（溝切り）加工を行うパターニング装置が使われている。

　現状のパターニング装置のスクライブ速度は2000mm／sec程度であり、太陽電池の低コスト化のために、さらなる高速化が求められているという。また、発電効率向上のために、スクライブ線の高品質化が期待されている。

　今回開発した装置は、特殊なレーザ照射装置と搬送部で構成されており、ガラス基板がレーザ照射装置上を通過すると同時に超高速のスクライブ加工を行うことができるため、従来のガラス基板を停止させ、往復動作をさせながらレーザを照射するスクライブ加工方式等と比べて、生産性の向上や高品質なスクライブ加工を可能としている。