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THK、縦型炉向けの地震対策に、新型免震台の受注を開始
THKは、半導体製造に用いられる縦型炉向けの地震対策として、中小地震から大地震までワイドレンジに対応する新機構を搭載した新型の免震台「縦型炉用新型免震台」を開発し、10月より受注を開始した。
縦型炉用新型免震台
縦型炉用新型免震台は、中小地震(およそ震度33~5弱)では縦型炉内にあるウェハーの欠陥の低減を担保し、大地震(およそ震度5強以上)では縦型炉本体と石英パーツを保全することで、幅広い地震動に対応が可能な免震台となっている。
従来からの免震台は、主に大地震が発生した際に、縦型炉本体の損傷を防いで機能を維持することを目的としていた。一方で、発生頻度が高い中小地震でも縦型炉内にあるウェハーに欠陥が生じることがあり、生産への影響が懸念されるため、半導体業界では以前から、その対策への要望が強かった。THKではこうしたニーズに対応するため、中小地震から大地震までワイドレンジに対応可能な縦型炉用新型免震台を自社開発したもの。免震性能切替機構を備えており、地震発生後、短期間での生産再開に貢献できる。
開発品の特長は以下のとおり。
・二段階可動方式を用いた新機構を採用:同社の従来型免震台よりも低い加速度で起動し、特定の可動域を超えると免震性能が切り替わる二段階の特性を有し、揺れの大きさに応じた個別の免震性能を発揮させることが可能
・縦型炉の仕様に合わせたカスタマイズ:縦型炉の荷重を支える支承ユニットを複数配置し、各支承ユニットは鋼製フレームとプレートで連結する構造のため、搭載する縦型炉の形状や仕様に合わせて自由度の高い設計が可能
・3種類の支承ユニットを展開:支承ユニットは、減衰・復元機構、免震性能切替機構の有無で3種類をラインアップ。各支承ユニットの組み合せにより、最適な性能を発揮する免震台を構成することが可能
性能切替/減衰機構付き支承ユニットの構造
縦型炉用新型免震台の構成
NTN、工作機械主軸用グリース潤滑軸受向けの高速・長寿命グリースを開発
NTNは、工作機械主軸用グリース潤滑軸受として業界最高水準となるdmn値(軸受ピッチ円径(mm)×回転速度(min-1))190 万の高速回転に対応する「高速・長寿命グリース」を新たに開発した。本技術を適用した軸受を工作機械主軸(複合加工機、マシニングセンター、旋盤)などに提案、同グリース潤滑軸受で2027年度に3億円/年の販売を目指す。
高速・長寿命グリース工作機械主軸用軸受
各産業でカーボンニュートラルに向けた取り組みが加速する中、工作機械においても省エネルギー化が進められている。工作機械主軸用軸受の潤滑方法にはエアオイル潤滑とグリース潤滑があるが、エアオイル潤滑は、冷却効果や油の安定供給により高速回転に対応しやすい一方で、エアーを供給し続けるエネルギーが必要であることやオイルミストの発生による環境面の課題がある。
そのため、グリース潤滑への置き換えが求められているが、高速回転性能が必要とされる工作機械主軸用軸受においては、軸受の発熱に伴うグリースの劣化や、回転するボール(転動体)によってグリースが掻き分けられることで、軌道面と保持器ポケットしゅう動部にグリースを安定的に供給できないなどの課題があった。
そこでNTNは今回、工作機械主軸用軸受グリース潤滑軸受向けに、これらの課題を解決する高速・長寿命グリースを開発したもの。
開発品の特長は、以下のとおり。
・高速・長寿命対応:グリース潤滑軸受としては業界最高水準となるdmn値190万(グリース寿命は同社従来品比で8 倍)の高速回転性能を実現。基油と基油を半固体状に保持する増ちょう剤、添加剤の成分を見直すとともに最適配合することで、発熱を抑制し、かつグリースのしゅう動部への安定供給を実現
軸受運転試験結果