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　自動化システム部門賞を受賞したロボリンクは、イグスの高機能樹脂によって摩擦特性を最適化した関節部を備えた、軽量の多関節ロボットアーム。最大5自由度、可動範囲が最大790ｍｍ、最大可搬重量が3kgで、組立品として利用できるほか、用途に合わせてエンコーダや制御システムの有無も選択できる。パレタイジングやピック＆プレース、試験装置などの用途でメンテナンスフリーや長寿命化を実現するソリューションとなっている。

自動化システム部門賞を受賞したロボリンク

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THK、特殊環境向けの高機能非磁性・超高耐食製品をラインナップに追加

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2年 7ヶ月 ago

THK、特殊環境向けの高機能非磁性・超高耐食製品をラインナップに追加kat 2022年12日21日(水) in

半導体・FPD

　THKは、強磁場や腐食性薬剤の影響を伴う特殊環境下でも、通常環境に匹敵する直動・回転案内性能が発揮できる「高機能非磁性・超高耐食製品」のラインナップを追加する。

　高機能非磁性・超高耐食製品の直動・回転案内は、磁気をほとんど帯びない高水準の非磁性性能と軸受に適した高硬度の特徴を併せ持つ特殊合金「THK-NM1」で構成され、既存の直動・回転案内とほぼ同等の耐荷重性能に優れた非磁性製品が製作可能なほか、腐食性薬剤が飛散する環境下でも極めて優れた耐食性を発揮する。

「高機能非磁性・超高耐食製品」のラインナップ

　半導体の製造プロセスでは特殊環境と呼ばれる工程が数多く存在し、例えば超微細回路パターンを描く電子線描画装置をはじめ、フォトレジストなどを用いたフォトリソグラフィ工程などは、磁気の影響を極端に嫌い、特殊薬剤による耐食性を極限までに要求される技術領域がある。

　最先端技術を有する特殊環境下では、非磁性、耐食性といった特徴の一点一点を追求する製品がこれまで広く採用されてきたものの、近年は、強磁場や腐食性薬剤を扱う環境下でも通常環境に匹敵する動作性能を厳しく評価、検証するケースが増えてきている。半導体業界もその一つであり、非磁性・高精度・高耐食の三拍子が揃ったニッチな汎用製品を強く望む声が寄せられていたことから、同社では代表製品である直動案内「LMガイド」やボールねじ、ボールスプライン、クロスローラーリングの高機能非磁性・超高耐食製品をラインナップし、課題としてあった非磁性・高精度・高耐食を実現した。

　とりわけ特殊合金「THK-NM1」の採用は、一般的な高硬度のセラミックス材と比較すると、ボール接触面が適度な弾性変形を伴うことで予圧の付与ができ、軸受に適した特殊材の中でも磁気の影響を受けずガタつきのない滑らかな動きが可能となる。また、腐食性薬剤への耐食性にも優れ、さらに高精度な動作を実現できるようになったことで、技術の高度化が近年目まぐるしく進む半導体製造プロセスの分野に寄与する。

　高機能非磁性・超高耐食製品の特徴は以下のとおり。

・高水準の非磁性磁気をほとんど帯びない高水準の非磁性（比透磁率が1.005未満）のため、強磁場環境や電荷を帯びた粒子を制御する機器等で使用するのに最適

・優れた耐荷重性能特殊合金THK-NM1は軸受に必要な硬度を有しているため、従来の特殊鋼（ステンレス鋼、オーステナイト系非磁性鋼、チタン、セラミックなど）と比べると耐荷重性能が大幅に向上する

・特殊合金THK-NM1製の直動・回転案内製品は、材質が適度な弾性を有するため予圧を付与することができ、高精度でガタつきのない滑らかな動きを実現できる

・極めて優れた耐食性極めて優れた耐食性を備える特殊合金THK-NM1は、腐食性薬剤が飛散する環境下でも装置性能の維持に寄与する

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