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日新イオン機器、半導体材料改質プロセスにおいて世界初の量産化を可能にする装置

　日新イオン機器は、半導体デバイスを製造する際の材料改質プロセスにおいて量産能力を持つ半導体材料改質装置「KYOKA（鏡花）」を開発した。

　KYOKAは、日新イオン機器が市場を独占するスマートフォンディスプレイ製造用装置で培った大電流イオン技術を応用して設計され、高スループットや低処理コストをはじめ、材料改質の実用化と量産化に必要な種々の性能を満たす世界初の装置。2024年4月に日新イオン機器滋賀事業所にデモ機を設置し、顧客へのサンプル処理を開始する。

　今後の科学技術の発展に大きく貢献すると期待されている人工知能（AI）チップをはじめとした半導体デバイスの微細化とそれがもたらす低消費電力化、および高機能化をさらに進展させるために、ユーザーから新しいプロセスの導入が待ち望まれているという。その一つがイオンによる材料の改質で、シリコンや酸化シリコンなど半導体デバイスを構成する材料に低エネルギーのイオンビームを照射することで、元の材料には無い性質を付与させることが可能となる。しかしながら、このプロセスには非常に多くのイオンが必要となり、従来装置では生産性とコスト面の要求を満たすことができず、実用化の大きな障害となっていた。

　今回開発したKYOKAは、材料改質の量産装置を切望されるユーザーの声を受け、2017年から開発を開始した。シミュレーションを用いたイオンビームの軌道解析や、機械・電気・ソフトウェア設計の改良を積み重ねた結果、市場の要求を満たす量産能力を実現することができた。材料そのものの機能向上に加えて、材料の持つ性質を変化させることで、その後に続く半導体加工工程を容易にすることも可能なことから、デバイス性能の向上と製造技術の進歩の両面での貢献が期待できる。

KYOKA

 

admin 2024年2月2日 (金曜日)

仏・Alメーカーの高機能金属粉末の販売権を獲得

　大陽日酸（ https://www.tn-sanso.co.jp ）は、フランスのアルミニウムメーカー Constelli um SE（コンステリウム社）の金属アディティブ・マニュファクチャリング（金属ＡＭ）粉末商材「Aheadd® Aluminium Powders」における日本での販売権を1月に獲得した。これにより大陽日酸は本粉末商材を航空宇宙、自動車分野に加え、半導体分野など幅広い市場に向けて提案していく。

　同社は、日本酸素ホールディングスの中期経営計画「NS Vision 2026 Enabling the Future ～」の五つの重点戦略の一つである「カーボンニュートラル社会に向けた新事業の探求」や日本の産業ガス事業の成長戦略としての「ソリューションビジネスの拡大」に基づき、金属AMを重点事業分野と位置付け、大陽日酸が得意とする溶接プロセス、ガス精製、熱処理などの産業ガスアプリケーション技術を金属ＡＭでの課題解決につなげ、革新的な商品開発や生産合理化、カーボンニュートラルに貢献するため、グローバルに事業を推進している。

　コンステリウム社は、アルミニウム製品とソリューションの開発、製造、リサイクルにおけるグローバルリーダーであり、同社の金属AM向けのアルミニウム合金粉末「Aheadd® Aluminium Powders 」はLaser Powder Bed Fusion 方式に最適化された設計であり、従来の粉末で実現できなかった新たな金属AM造形物の高機能化を実現する。大陽日酸は、ものづくりにインパクトを与える金属AM粉末商材の拡充を進めており、同品の日本市場における販売権を獲得した。

admin 2024年2月2日 (金曜日)

THK、新社長に寺町崇史氏kat 2024年02日02日(金) in

• トピックス

　THKは、昨年11月15日開催の取締役会において、本年1月1日付けで 寺町崇史取締役専務執行役員 産業機器統括本部長が代表取締役社長 COO 兼 産業機器統括本部長に就任する人事を決議した。寺町 彰博社長は代表取締役会長 CEOに就任する。

 

寺町崇史（てらまち・たかし）氏
1978年11月 17 日生まれ、45歳。
2003年3月慶應義塾大学大学院理工学研究科修士課程修了後、同年4月住友商事に入社、2013年9月に同社を退社
同年11月にTHKに入社
2014年1月IMT 事業部 部長
同年6月取締役執行役員 IMT 事業部副事業部長 兼THKインテックス代表取締役社長
2016年6月取締役専務執行役員産業機器統括本部長 兼 THKインテックス代表取締役社長
2020年1月取締役専務執行役員産業機器統括本部長
兼 THKインテックス取締役
2020年3月取締役専務執行役員産業機器統括本部長