日本精工、次世代半導体製造装置向け高精度垂直軸テーブル

　日本精工は、次世代半導体製造装置の要求に対応する「高精度垂直軸テーブル」を開発した。

　スマートフォンやタブレット端末に使用される電子部品は、小型化・微細化・三次元化に応じて生産設備の高度化が進んでおり、そこに使用される位置決めテーブルは高機能化・高精度化が求められている。

　同品は、垂直案内に空気軸受を採用し真直度の再現性±0.1μm以下を実現した。また、新開発の自重キャンセル機構により、駆動モータの50%以下に小型化した。さらに、ISO規格最高のクラス1（1立方メートル中に0.1μm粒子が10個以下）相当のクリーン対応を実現し、構造をくさび機構にしたことにより垂直方向の高精度位置決めが可能になった。