材料科学技術振興財団、SEMなど新たに四つの分析サービスを拡充

　受託分析を行う材料科学技術振興財団（ http://www.mst.or.jp/ ）は、新規に導入した装置(Csコレクタ付TEM／STEM・SMM・SEM・AES)を用いて新たな分析サービスを開始すると発表した。2013年12月から2014年2月にかけて四つの新サービスを立ち上げる。

　これまで主にナノ領域での構造・組成評価が重要となる半導体の研究開発に携わる事業者などに利用されていたが、近年のさらなる分解能向上・定量評価のニーズに応えるため、新たに設備投資を行った。新サービスは以下のとおり。

1. Csコレクタ付透過型電子顕微鏡(TEM／STEM)
   原子分解能レベルでの構造観察・元素分析を2014年2月に開始……電子顕微鏡の分解能の飛躍的な向上と、元素分析装置の感度改善を組み合わせることで、原子分解能レベルでの元素分布評価が可能となった。特に最先端の極微細デバイスや化合物結晶材料などの構造評価に適したサービス。
2. 走査マイクロ波顕微鏡(SMM)
   半導体デバイス中のキャリア濃度分布評価を2013年12月に開始……SMMとは走査型プローブ顕微鏡の一種で、研磨して作成したデバイス断面で測定を行う。既知の2箇所のキャリア濃度を指定することで、デバイス中のキャリア濃度に応じた分布像を得ることができる。
3. 走査型電子顕微鏡(SEM)
   ナノオーダー表面形状の高精細観察を2014年2月に開始……100Vレベルの極低加速電圧においても高い空間分解能でSEM観察を行う。主にレジストやポリマーなど、融点が低く測定によって変形しやすい材料でも、ありのままの構造を評価することができる。
4. オージェ電子分光装置(AES)
   高空間分解能最表面の元素分析を2014年2月に開始……8nm程度の高い空間分解能でAES分析を行う。異物検査装置で見つかった数十nmの異常箇所であっても、最表面からAES分析を行うことで短い納期で元素分析結果報告を可能する。