アルバック理工、各種熱電材料の特長に合わせた熱電特性評価装置

　アルバック理工（ http://www.ulvac-riko.co.jp ）は、薄膜熱電材料の性能評価やSi系熱電材料の性能評価などを行う熱電特性評価装置「ZEM-5シリーズ」を開発、販売を開始した。

　熱電材料は、熱から電気に変換する際に駆動部がないため、メンテナンスフリーでクリーンな技術として注目されている。 熱電材料開発が進むにつれ、各種材料でより高いレベルの性能評価が求められてきたという。こうした背景を踏まえ、高温・高抵抗・薄膜など各種熱電材料の特長に特化した製品を開発した。これにより、様々な材料の詳細な要求に対応する熱電材料評価装置を実現した。

　今回販売を開始する同品は、各種材料の特長に合わせて仕様を特化している。Si系熱電材料に対応するために高温における試料との反応性が低いＣ熱電対を採用した。酸化物熱電材料の評価に対応するために、より高抵抗（実測10MΩ）まで測定できるように計測系を見直した。また薄膜（ナノメータオーダ）の評価に対応するために、試料系と測定方法の最適化。室温近傍の評価ニーズに特化した低中温型を開発。数ミリの小試料への対応を可能にしている。