NTN、FPD基板製造工程向けに微細異物除去装置

微細異物除去装置(装置主要部) 150mm(幅)×150mm(奥行)×45mm(高さ)　NTN( http://www.ntn.co.jp )は、フラットパネルディスプレイ（FPD）用カラーフィルタ基板などに付着するミクロンサイズの異物を除去する「微細異物除去装置」を開発した。

　同装置は、ミクロンサイズの異物を直接除去する専用針をマイナスドライバ状にし、モニタ画面上のマウスポインタの簡単な操作で異物位置を指示することができる。これにより、従来の除去方法(レーザカット、研磨)では難しかった基板表面に付着・埋没した異物を正確に取り除くとともに、異物周辺部への損傷を低減する。また、取り除いた異物や針に付着した異物を吸引や粘着ローラで確実に回収する機能を備えており、除去作業後の洗浄工程を省略・省人・簡素化できる。

　FPD用カラーフィルタ基板やその製造に使用する露光用フォトマスク基板の製造工程では、パネルの面積拡大・高画質化に伴い、ミクロンサイズの異物が基板表面へ付着したり、成膜内に埋没したりすることによる不良発生率が高まっているという。同社では、これまで大型液晶や有機ELなどのFPD基板製造工程で発生する微小欠陥の修正技術向上に取り組んできており、今回開発した新たな修正技術によって、世界で拡大する大型液晶や有機EL、スマートフォン・タブレットPC向けパネルなどFPD基板製造工程向けに普及を図る。