東芝機械、LED素子の輝度向上を実現するナノインプリント装置

　東芝機械（ http://www.toshiba-machine.co.jp ）は、LED素子のさらなる輝度向上を実現するナノインプリント装置「ST50S-LED」を開発した。

　近年急成長を続けるLED市場にでは、年を追うごと輝度向上が求められているという。輝度向上の解決策としては、ナノインプリント技術を用いて、サファイア基板上や化合物半導体膜を形成してあるサファイア基板上に、３次元パターンを構成することで、内部量子効率および外部発光効率を改善し、LEDの高輝度化の実現が可能となる。

　同社では、今まで培ったナノインプリント技術、押出成形機のコーター技術を発展させたロール・ツウ・ロール技術等のインテグレーションにより、高輝度LED用ナノインプリント装置を開発した。この装置により、反りのあるLED基板へのナノメートルオーダの微細形状パターニングが全自動・全面UVインプリント可能となる。