山洋電気( http://www.sanyodenki.co.jp )は、ボールねじと一体化した5相ステッピングシステムのリニア駆動ステッピングモータを開発、販売を開始した。
ステッピングモーターは半導体製造装置や一般産業機器などで、ステッピングモータの回転をボールねじで直線運動に変換している。
同品は5相ステッピングモータにボールねじを一体化してコンパクトに収めたもので、装置を小型化できる。最大推力は業界最高水準の450N、ストローク長は最大80mmを実現。半導体製造装置、一般産業機械、工作機械、搬送機器向けなどに販売していく。