ファナック、超精密ナノ加工機に搭載する5軸機上計測機能を開発

　ファナック（ http://www.fanuc.co.jp ）は、自由曲面のナノ加工精度加工を実現する同時5軸制御の超高速・超精密ナノ加工機「FANUC ROBONANO α-0iB」に搭載する、5軸機上計測機能「FANUC NANOCHECKER」を開発した。

　新開発の計測機能は、「ROBONANO α-0iB」が加工したワークの形状を加工機の上で計測し、形状誤差を無くすように補正加工することで、加工精度を大幅に改善する。

　ワーク全面を走査して3次元形状計測を行うため、一般的な光学レンズのように軸対象形状でも、対象性の無い自由曲面形状でも対応可能。また、回転軸を利用した機上計測により±80°以上の斜面の高精度計測・補正加工を実現する。

　傾斜角±80°以上のレンズ計測は、最近ブルーレイレンズなどで需要が高まっているが、従来行われていた計測器の方向を固定した計測方法では傾斜角が大きくなると計測精度が低下する。

　「ROBONANO α-0iB」の回転軸により計測器の方向を変更可能な「NANOCHECKER」は、急な傾斜面でも測定子が計測面に垂直になるよう制御することで、測定子の同じ面が測定対象に接触し、測定子の形状誤差により生じる計測誤差を最小化する。

　主な特長は以下のとおり。

1. 計測可能傾斜角　±80°以上


2. 急な傾斜角面でも測定データのノイズが増加しない


3. 超精密計測分解能1nm


4. ROBONANO α-0iB のCNC画面から直接操作可能