VACUUM2014-真空展

　「真空展」は今回で36回目を迎える歴史ある展示会であり、世界で唯一と言ってよい規模を誇る真空機器・真空装置の総合展示会。真空技術は、半導体、ＦＰＤ、電子分野だけでなく、食品、医療、分析機器や、昨今注目を集めている新エネルギー分野、環境関連分野など、多くのの産業分野に関わる基盤技術である。今回のは、「洗浄総合展」「Japan Robot Week」「モノづくりマッチングJapan」と共同開催する。

テーマ

「真空技術が生み出す未来」

開催日

2013年10月15日（水）～10月17日（金）
10:00～17:00

入場料

無料（但し、登録制）

会場

東京ビッグサイト（国際展示場）東ホール

出展製品

■真空ポンプ
低真空～中真空ポンプ（油回転ポンプ、ドライポンプ他）、高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ、クライオポンプ他）、超高真空ポンプ、真空排気装置
■真空計測器
ピラニ真空計、電離真空計、極高真空計、薄膜計測、制御機器
■真空部品・材料
真空バルブ、真空スイッチ、各種導入端子、真空ポンプ油、成膜材料
■真空冶金装置
真空溶解関連、真空熱処理関連、真空接合、真空改質関連
■真空化学装置
真空乾燥、凍結乾燥、蒸留、濃縮、脱臭、真空冷却、真空重合関連
■真空薄膜形成加工装置
蒸着、スパッタリング、ドライエッチング、アッシング、イオン注入、CVD、エピタキシャル成長
■ガス分析装置
場型質量分析計、マスフィルタ型質量分析計、微量ガス分析装置、電子衝撃発光分光装置
■表面分析装置
電子検出型、光電子分光分析装置、オージェ電子分光装置、電子回析装置、その他の表面分析装置、イオン検出型質量分析装置、二次イオン質量分析装置、イオン散乱分析装置、その他のイオン検出型表面分析装置、X線検出型、X線回線装置、電子線マイクロアナライザ、その他のX線検出型表面分析装置
■試験装置
自動濡れ探し機、スペースチャンバー、真空引張・圧縮試験機、その他試験機
■表面観察装置
走査型トンネル顕微鏡、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡
■その他の真空利用装置
液晶注入、真空包装、真空充填、真空吸着、エポキシ注型、真空含浸、真空リフター、真空プレス、真空ピンセット、プラズマクリーニング
■サービス業務
保守業務、修理・改造、指導・ソフトウェア、中古リサイクル販売、委託加工
■要素機器
各種電源、空圧機器（アクチュエータ）、シーケンス制御機器、機構部品、物流制御機器

同時開催

「2014洗浄総合展」
「Japan Robot Week 2014」
「モノづくりマッチング Japan 2014」

問い合わせ

「VACUUM2014-真空展」運営事務局 日刊工業新聞社 業務局 イベント事業部内
〒103-8548 東京都中央区日本橋小網町14-1
TEL：03-5644-7221　FAX：03-5641-8321
E-mail：j-event@media.nikkan.co.jp

ホームページ

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