産総研、最高温度900 ℃の試料温度可変小型超高真空プローバ装置を開発

　産業技術総合研究所は理工貿易と共同で、最高加熱温度900℃の温度可変薄型試料台を組み込んだ小型超高真空プローバ装置を開発した。

　昨今、新材料や新原理による革新的電子素子開発などの研究分野では、超高真空、極低温、高温などの極端環境条件下での電気特性評価のニーズが高まりつつある。今回開発した試料温度可変小型超高真空プローバ装置の試料温度範囲は－123℃～900℃で、10^-8Pa台の超高真空下で測定できるため、これらの分野への貢献が期待される。