丸紅情報システムズ、部品などの表面をミクロン精度で3次元平面性状測定する装置

　丸紅情報システムズは、平面性状計測システムメーカーの米・コヒリクス社製ハイエンド非接触平面性状計測システム「シェイピックス（ShaPix）」シリーズの新モデル「シェイピックス1500（ShaPix1500）」の販売を開始した。

　同品は、コヒリクス社が特許を持つ独自のホログラフィックス測定技術により、物体の平滑性をサブミクロン単位で計測、表面の性状を評価する。計測性能は1μmの精度を実現している。一回で150mm x 150mmの範囲を計測し、自動車のエンジンブロックなど範囲を超える大きな部品の場合には、分割して測定した結果をつなぎ合わせて一つの平面形状として出力することが可能。顕微鏡などの2次元ではなく、3次元で精密に計測して結果をコンピュータのデータとして取り込む事が可能で、各種の分析ソフトウェアを実行、レポートを作成する。

　主な用途としては、オイルリーク問題を引き起こす平滑性の精度を要求される金属の接合面の計測がある。簡単に測定できる上、3次元ビューによる面性状の視覚チェック、全体平面度評価、ゾーン（小エリア）ごとの平面度評価、任意カーブに沿った高低差プロット、フィルターで選択した大きさのうねり分析ができる。今までの定量的な測定方法は、測定対象物の表面にプローブ(探針)を接触させる接触式測定が一般的に使われていたが、この方式では部品表面全体の測定に長時間を必要とし、平面全体の測定は事実上不可能だったという。