東芝機械、φ6インチワーク搬送装置を搭載した高精度ダイシングマシンを開発

　東芝機械（ http://www.toshiba-machine.co.jp ）は、パワーデバイス向けとして、加工性能に定評、実績のあるスライサーとダイシングマシンの操作性を融合した高精度ダイシングマシン「USM-6E」にφ6インチワーク搬送装置を搭載した「USM-6E(AL)」を新たに開発した。

　ベース機の「USM-6E」はSiC、サファイア、LTCCに代表される脆性材料を精密に切断、溝入れする際のX軸の戻り速度を従来比3.2倍の800ｍｍ/secの高速化を実現しており、送り機構による直進性の改善により加工精度が向上するとともに、ダイシング時に発生するチッピングを減少させている。ブレードを複数枚取り付ける「マルチブレード加工」にも対応していることから、従来に比べ高い生産性を実現している。ワーク搬送装置を追加することで自動化ができるようになり、高い生産性を実現する。

　φ6インチワーク対応の搬送装置は25枚のワークを搭載可能なカセット方式を採用し長時間の自動化運転に対応可能とした。また、搬送装置には洗浄機能を搭載しており加工時に発生する切削クズを洗浄することが可能。

　操作性を向上させるため、従来機に搭載している15インチのLCDタッチパネルを採用し、MMI（マン・マシンインターフェース）による直感的な機械操作、加工条件、搬送装置の制御を実現した。

　従来機で定評のあるオートアライメント機能も搭載しており、廃油ゼロの送り軸ガイドの採用とともに環境面にも配慮した。

　価格は4千万円前後で初年度20台の販売を予定している。