第20回マイクロマシン／MEMS展

　
世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する専門展示会

出展予定は以下のとおり。

MEMS製造装置 MEMS材料

• 薄膜形成（蒸着・スパッタ・CVD・メッキ）


• 露光・描画


• レジスト処理


• エッチング


• 接合


• ダイシング


• ボンディング


• 実装・パッケージング


• 微細成形（射出、ホットエンボス）


• その他製造装置用関連装置

MEMS材料

• 圧電薄膜（ZnO,AIN,PTZ）
  レジスト材料、貼付材、保護材


• ナノチューブ
  サファイヤ、ポリマー、セラミック


• LTCC基板
  ガラス基板、SiC


• 磁性材料
  強誘電体

ナノ加工・超精密・微細加工

• 超精密ナノ加工


• 精密微細機械加工


• 基板・表面のマイクロマシニング


• 微細溝・穴加工


• 微細切断加工


• レーザー加工


• イオンビーム加工


• 微小放電加工


• 超音波加工 他

バイオ・医療関連

• 診断・治療用MEMS応用
  DDS、ナノカプセル


• DNA・RNAチップ
  マイクロリアクター、マイクロ流路　他